РЕАЛИЗАЦИЯ ИНФОРМАЦИОННОЙ ТЕХНОЛОГИИ МОНИТОРИНГА РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ПРИМЕСИ В СЛИТКАХ КРЕМНИЯ
Анотація
На основании информационной технологии мониторинга распределения примеси разрабатывается программный продукт, который реализует настройку математических моделей, входящих в состав системы виртуального мониторинга, непосредственно мониторинг условий в тепловом узле ростовой установки и позволяет выводить полученную информацию в виде таблиц и графиков.
Посилання
Каханер Д. Численные методы и программное обеспечение : Уч. пособие / Д.Каханер, К. Моулер, С. Нэш. М.: Мир, 1998. 435 с.
Джордж А. Численное решение больших разреженных систем уравнений : Уч. пособие / А. Джордж, Дж. Лю. М. : Мир, 1984. 343 с.
Тихонов А.Н. Уравнения математической физики : Уч. пособие / А. Н. Тихонов, А. А. Самарский. М. : Наука, 1977. 735 с.
Формалев В.Ф. Метод переменных направлений с экстраполяцией по времени для параболических задач со смешанными производными / В. Ф. Формалев // Вычислительные технологии. 1996. Том 1. № 2. С. 99-103.
Тихонов А. Н. Уравнения математической физики : Уч. пособие / А. Н. Тихонов, А. А. Самарский. М.: Наука, 1977. 735 с.
UA
EN
